一种改善高纯铝靶材内部组织的工艺方法

摘要

本发明提供一种改善高纯铝靶材内部组织的工艺方法，所述工艺方法包括对坯料依次进行的第一锻伸处理、第一热处理、第二锻伸处理、第三锻伸处理、第二热处理、静压处理、压延处理以及第三热处理。所述工艺方法可以减少高纯铝靶材内部缺陷，细化内部晶粒，提高晶粒均匀度，从而提高高纯铝靶材的焊接性能。