三维光学衍射层析成像方法及装置

摘要

本发明揭示利用低相干光源和多重图案照明的三维光学衍射层析成像方法及装置。本发明一实施例的利用三维光学衍射层析成像装置的利用低相干光源和多重图案照明上述三维光学衍射层析成像方法包括：利用多个图案向试片入射光源的步骤；在图像测定部中，在上述试片的不同深度(depth)位置上测定不同的位置，以此测定上述试片的二维影像的步骤；以及以在不同的上述图案和在不同的上述深度位置中测定的上述二维影像为基础复原上述试片的三维折射率信息的步骤。