衍射光学元件的光学特性测定方法及衍射光学元件的光学特性测定装置

摘要

本发明公开了一种衍射光学元件的光学特性测定方法及其测定装置，通过检测出由摄像镜头即衍射光学元件会聚的任意波长范围的衍射光甚至是微弱的衍射光，而能容易且准确地评价点光的光量、衍射效率及光轴方向上的亮度分布。从白光光源(11)射出的光通过波长带通滤光器(12)后，用针孔狭缝(13)对光进行限制。该光通过准直透镜(14)成为平行光后，入射到摄像镜头即衍射光学元件(16)中。从该衍射光学元件射出的光在会聚成点光(17)后，被显微镜(18)放大并投影到CCD(19)上。用距离变更部件(56)改变该CCD和该衍射光学元件之间的距离后，用该CCD测定出光轴方向上的亮度分布。还测定出垂直于光轴的面内亮度分布。

说明书

技术领域

[0001]本发明涉及一种衍射光学元件的光学特性测定方法及光学特性测定装置。

背景技术

[0002]近年来，利用光衍射现象的光学元件在各个领域中得到应用。在图10中，图示出普通衍射光学元件122。该衍射光学元件122是在平板上平行地形成有呈三角波浪状凹槽的元件。使光入射到该衍射光学元件122后，该光分离成0级、1级、2级……等级的衍射光。下面，具体地对各级衍射光的衍射效率的评价方法进行说明。

[0003]图11是用来对被称作刀口法(knife-edge method)的衍射效率评价方法进行说明的附图。若使激光121入射到衍射光学元件122中，则激光121在与光轴垂直的方向上分离成各级衍射光后成像。利用像刀刃那样边缘与点直径(spot diameter)相比足够长且薄的遮光板123遮挡该已成像的点光(spot beam)，并按一定间隔进行扫描后，用光检测器124测量已通过的点光的强度。由已获得的强度分布计算出强度差，从该强度差能够计算出各级的衍射效率。

[0004]还有，在专利文献1中，公开了一种衍射光学元件的衍射效率测定方法，在该衍射光学元件中，衍射凹槽形成为同心圆状，并且各级的衍射点光的成像点位于同一直线上。在该测定方法中，利用准直透镜使激光成为平行光后，再使其入射到衍射光学元件中，然后用显微镜将由衍射光学元件聚集起来的光放大后再进行观察。此时，各级的点光产生重叠。为了去掉无用的级的光，在衍射点光的周围设置了针孔狭缝(pinhole slit)来消除所述光产生的影响。衍射效率是用下述方法计算的，即：首先，测量没有衍射光学元件状态时的透光量，将该透光量作为入射光量，然后求出各级的衍射点光通过针孔狭缝后的光量。

[0005]但是，在上述两种方法中存在以下问题。

[0006]一般的衍射效率评价方法即刀口法只能用于与光轴垂直地排列有多个衍射点光的情况，而衍射凹槽形成为同心圆状的衍射光学元件是沿着光轴排列有多个衍射点光，所以无法用刀口法来评价该衍射光学元件。

[0007]还有，在专利文献1中，虽然对形成为同心圆状的衍射光学元件进行了评价，但由于是用激光作评价光源，所以只能以拾光器(optical pickup)用透镜为对象对单波长的衍射效率进行评价。还有，专利文献1的前提是以能够提供充足光量的激光作光源，而具有某一波长宽度的光源与激光相比光量较少，所以专利文献1的方法无法适用。

[0008]还有，在专利文献1的方法中，为了消除无用的级的点光所产生的影响而使用了针孔狭缝，因此有必要准备与各个衍射点光和点直径相对应的各种孔径的狭缝。虽然为了进行准确的评价，理想的是使点的尺寸和狭缝尺寸完全一致，但是在使用针孔狭缝的评价中这是有一定限度的。而且，在专利文献1的实施方式二中，在计算衍射效率时，事前求出了光通过非球面透镜而非衍射光学元件时的光量值，并以该光量值作为入射光量值。因此，在该方法中，有必要特意准备与衍射光学元件具有相同有效直径的透镜，这是很繁琐的。

专利文献1：日本国公开特许公报特开平09-196813号公报

-发明所要解决的技术问题-

[0009]而且，专利文献1所叙述的方法是以拾光器用透镜为对象，所以很难用该方法对用作摄像镜头的衍射光学元件进行评价。以往，只能采用下述方法对用作摄像镜头的衍射光学元件进行评价，即：使绘有平行线或图形的图(chart)通过衍射光学元件成像后对该像进行观察，来查看线或图形的变形或模糊程度。然而，在这一方法中，很难获得作为数值数据的有关应如何具体地修正衍射光学元件的信息，因此不能容易地进行衍射光学元件的修正作业。

发明内容

[0010]本发明旨在解决对所述摄像用衍射光学元件进行评价时出现的问题，其目的在于：提供一种测定方法及评价装置，即：通过检测出由摄像镜头即衍射光学元件会聚的任意波长范围的衍射光甚至是微弱的衍射光，而能够容易且准确地评价点光的光量、衍射效率及光轴方向上的亮度分布。

-解决问题的技术方案-

[0011]为了达到所述目的，本发明所涉及的衍射光学元件的光学特性测定方法的特征在于：包括滤光步骤、入射步骤、放大步骤、投影步骤以及距离变更步骤，在滤光步骤中，使白光光源射出的光通过滤光器，以获得特定波长范围的光，在入射步骤中，使所述特定波长范围的光入射到由衍射光学元件构成的摄像镜头中，在放大步骤中，放大由所述摄像镜头会聚而成为点光的光，在投影步骤中，使所述已放大的点光投影到具有多个像素的光检测元件中，在距离变更步骤中，在所述点光的光轴方向上使所述光检测元件和所述摄像镜头之间的距离产生变化；利用所述光检测元件，测定在与所述光轴垂直的面内的所述点光的面内亮度分布和该光轴方向上的轴向亮度分布。

[0012]为了达到所述目的，本发明所涉及的衍射光学元件的光学特性测定装置的特征在于：包括白光光源、从所述白光光源选出特定波长范围的光的滤光器、用来放置摄像镜头即衍射光学元件的支架、将由所述衍射光学元件会聚成点光的所述特定波长范围的光放大的光学放大部件、具有多个对已放大的所述点光的亮度分布进行检测的像素的光检测元件、以及在所述点光的光轴方向上改变所述光检测元件和所述摄像镜头之间的距离的距离变更部件。

-发明的效果-

[0013]根据本发明，能够对通过摄像镜头即衍射光学元件后聚集起来的任意波长范围的衍射光的衍射效率进行评价，因而能够快速且简便地对衍射光学元件进行评价。

附图说明

[0014]图1是表示衍射点光的测定装置的附图。

图2是表示各级衍射点光的测定方法的附图。

图3是表示CCD上的像的附图。

图4是CCD上的像(再次聚光点)的光量分布图。

图5是表示倾斜入射时的衍射点光的评价方法的附图。

图6是表示透镜中心和旋转轴的附图。

图7是表示对来自衍射光学元件的衍射光进行测定的流程图。

图8是通过绿色(G)滤光器时的最大亮度分布图。

图9是各个波长的最大亮度分布图。

图10是表示普通衍射光学元件的图。

图11是表示来自衍射光学元件的衍射光的以往测定装置的附图。

(符号说明)

[0015]11    白光光源

      12    波长带通滤光器(wavelength band-pass filter)

      13    针孔狭缝

      14    准直透镜

      15    光圈

      16    衍射光学元件(被测透镜)

      17    点光

      20a   点光在CCD上的像(再次聚光点)

      18    显微镜

      19    CCD

      34    评价范围

      50    支架

      51    角度可变机构

      52    光轴

      54    运算装置

      56    距离变更部件

62    透镜中心轴

63    旋转轴

122   普通衍射光学元件

121   激光

123   像刀片般锐利的刃部

124   光检测器(photodetector)

具体实施方式

[0016]参照附图，对本发明的实施方式进行说明。

[0017](实施方式一)

图1表示的是用来评价衍射光学元件16(摄像镜头)的点光的光学特性的测定装置，在该衍射光学元件16中，衍射凹槽形成为同心圆状的环带结构。还有，图7是表示衍射光学元件16的光学特性的测定方法的流程图。所测定的光学特性是从衍射光学元件16射出的点光的光量、光轴方向亮度分布以及与光轴垂直的面内的亮度分布等。

[0018]从光源(白光光源)11射出的白光通过波长带通滤光器12后，仅有任意波长范围的光透过来。这是从光源射出白光的白光射出步骤S1和滤光步骤S2。

[0019]朝针孔狭缝13照射该特定波长范围的透过光，由此来对光进行限制(第一限光步骤S3)，然后利用准直透镜14使从针孔狭缝13射出的入射光成为平行光(平行调整步骤S4)后，再用光圈15对平行光进行限制(第二限光步骤S5)，并使其入射到被检测对象即衍射光学元件16中(入射步骤S6)。此外，衍射光学元件16被放置在支架50上并被固定在测定装置上。

[0020]衍射光学元件16使入射光聚集起来(聚光步骤S7)。为了更加准确地评价聚集起来的像(＝点光17)，用显微镜18的物镜放大点光17(放大步骤S8)后，再利用显微镜18的镜筒透镜(tube lens)使其投影到CCD19上而再次成像(投影步骤S9)。也就是说，用显微镜18放大点光17就是放大由衍射光学元件16会聚光后所成的像。将显微镜18和CCD19之间的距离设定成由显微镜18规定的设定值。

通过将来自CCD19的亮度信息连接到监视器及运算装置54等中，而能够获得关于点光的光量、垂直于光轴的面的面内亮度分布及点直径等的具体评价(评价步骤S11)。还有，利用距离变更部件56使显微镜18和CCD19一同在光轴方向上移动后，再对光轴方向上的各个位置的点光的光量、面内亮度分布、点直径进行测定(距离变更步骤S10)。还有，可以在放大步骤S8中适当地改变放大倍率。以下对评价进行了说明。

[0021]在此，可以根据使用目的用红外光或紫外光作光源11。此时有必要根据使用目的，准备适当的光源11和波长带通滤光器12。还有，通过使用波长带通滤光器12，能够对具有某一宽度的任意波长范围的点光的聚光状态进行评价，而并非是对单波长的点光进行评价，所以能够对因波长宽度而产生的衍射光学元件16的象差进行评价。当对通过衍射光学元件16的白光的点光进行评价时，只要仅用白光光源作为光源11，就没有必要特别设置波长带通滤光器12。

[0022]还有，优选：按照所使用的光源，且根据需要设置红外截止滤光片(IR cut filter)等用来去除无用光的滤光器。所述各种滤光器并不一定要设置在光源11和针孔狭缝13之间，也可以设置在衍射光学元件16和显微镜18之间、或者设置在显微镜18和CCD19之间。

[0023]因为针孔狭缝13相当于衍射光学元件16的被摄物，所以如果入射光量充足，便能够通过进一步减小针孔狭缝13的直径，使针孔狭缝13成为更接近点光源的结构。相反地，如果入射光量少，则能够通过增大针孔狭缝13的直径来解决入射光量少的问题。

[0024]虽然在下述情况使用了准直透镜14，即：使来自针孔狭缝13的入射光平行，以虚构出一个无限远的被摄物，然而在对任意位置上的被摄物的成像光进行评价时，不需要设置准直透镜14，只要在适当的位置设置针孔狭缝13即可。还有，衍射光学元件16的光圈15的设置位置取决于衍射光学元件16的光学设计。即使透镜的构成数量、衍射面数为任意值，也能够进行同样的评价。

[0025]下面，参照图2对各衍射级的点光的评价方法进行说明。

[0026]来自衍射光学元件16的射出光分离成1级光、0级光等各级的光以后，在光轴上分别会聚成1级光的点光17a、0级光的点光17b等各级的点光。因为在摄像镜头中通常使用1级光，所以通过移动显微镜18来放大作为评价对象的1级光的点光17a后，使其在CCD19上再次成像。此时，使CCD19与显微镜18一同进行移动。这是为了使放大倍率保持一定。可以按照下述方式决定显微镜18和CCD19的位置，即：一边观察CCD19上的像，一边找到已实现某种程度聚焦的位置，并在其周边找到亮度最大的位置。此时，评价对象即1级光的点光17a以外的级的点光、例如0级光的点光17b由于显微镜18的位置缘故并没有会聚在CCD19上而是明显地扩散开，因而对1级光的点光17a的亮度及光量测定产生的影响便很小。实际上，点光17b也被显微镜18放大，所以该点光17b超出CCD19的摄像区域而明显地扩散开，因此它对CCD19的每个像素的亮度值产生的影响是很小的。

[0027]图3是表示CCD19上的像的附图。当对评价对象即1级光的点光17a进行评价时，为了将无用的0级衍射点光17b等的影响尽可能地控制在最小限度，可以按照1级光的点光17a所成的像(＝再次聚光点20a)缩小评价区域34。在评价再次聚光点20a时，用CCD19的多个像素测量各个点的亮度，并由该测量数据测定出面内亮度分布。在此，33是0级光在CCD19的位置所成的像。还有，当在下述情况时，即：光源11的光量小，因此1级光的点光17a的光量变得微弱，而很难用CCD19进行检测时，可以适当地将显微镜18的倍率调整成低倍率，使再次聚光点20a的密度提高。

[0028]优选在摄像用镜头中所利用的衍射点光是单级衍射点光，所以有必要将其它级的衍射点光的光量控制在最小限度。于是，仅在对必要的级的衍射点光进行评价时，为了能够获得点光的详细资料，将显微镜18的倍率设定成高倍率后再进行评价，而在对其它微弱的不必要的级的衍射点光进行评价时，只要将显微镜18的倍率设定成能够进行评价的低倍率即可。

[0029]下面，参照图4对再次聚光点20a的光量的计算方法进行说明。首先，求出在评价区域34内CCD19的全部像素所测定到的亮度中亮度最大的值即最大亮度值I_max。若假设再次聚光点20a的x、y方向(在垂直于光轴的面内的两个相互正交的方向)上的亮度分布是正态分布，则能够用公式1求出再次聚光点20a的光量E。在此，光量E指的是点所投影到的全部像素的亮度值的总和。如图4的右侧所示，w是在将具有I_max/e²以上亮度值的像素的集合判定为一个点时的再次聚光点20a的半径。

[0030][公式1]

$E={\int }_S\mathrm{IdS}$

$=\frac{\pi }{2}(1-\frac{1}{e^2})I_{\max }{w}^2$式1

其中，

$I\left(r\right)=I_{\max }\exp (-\frac{2r^2}{w^2})$

[0031]在此，I(r)指的是在与点中心相距半径r的位置上的CCD19的像素所测量到的亮度值。

[0032]还有，在由于入射光倾斜入射时等而使得衍射点光17a成为椭圆形的时候，点光的光量E可以用下面的公式2求出，此时将再次聚光点20a的长轴方向的半径设为a，将短轴方向的半径设为b。

[0033][公式2]

$I_S=\frac{\pi }{2}(1-\frac{1}{e^2})I_{\max }\mathrm{ab}$式2

[0034]因此，若事先求出再次聚光点20a的最大亮度值和半径，就能够很容易求出再次聚光点20a的光量E。通过使用计算机(运算装置54)进行的图像处理等，很简单地就能够从来自CCD19的亮度分布数据求出再次聚光点20a的最大亮度值和半径w。

[0035]还有，当点的形状是不规则形状而并非圆形时，可以将点的半径w设定为从点的重心到点的边缘的平均距离。此外，光量E的其它评价方法有将点所投影到的全部像素的亮度值加起来的方法。此时，可以像上文所述的那样将I_max/e²的亮度值作为阈值，来判断点的边界，或者可以在根据点的尺寸界定评价区域(例如矩形形状)后，再将评价区域内全部像素的亮度值加起来。

[0036]对所有的级的衍射点光都可以进行同样的所述点光评价，因而能够利用下述方法求出各级衍射点光的衍射效率。衍射效率的具体计算方法是将观测到的各个衍射点光的光量的总和作为入射到衍射光学元件16中的光量值，并用该光量的总和除各个衍射点光的光量。在此，所有的级的衍射点光指的是所有能够用CCD19检测出来的级的衍射点光。

[0037]在此，通过在被检测对象镜头(衍射光学元件16)的各个面的表面设置反射防止膜，而能够更准确地求出衍射光学元件16的衍射效率。能够用蒸镀法等设置反射防止膜。

[0038]还有，通过一边使CCD19沿z方向(光轴方向)移动，一边每隔一定移动间隔测定出亮度值，从而能够对z方向上的连续最大亮度分布(轴向亮度分布)进行评价。利用该光轴z-最大亮度值的曲线图，很容易就能够辨别出各级的尖峰位置及相对的光量大小。因为利用该数据，一下子就能够很容易地确认出是否存在无用的衍射点光，所以该数据特别适用于评价摄像用衍射光栅透镜。还有，通过测定点光尖峰的尖锐度，还能够对各衍射级的点光的聚光程度进行评价。可以用Q值表示尖峰的尖锐度。Q值是用下述公式表示的值。

[0039][公式3]

$Q=\frac{z0}{z2-z1}$式3

[0040]在此，z0是与尖峰对应的光轴方向上的位置，z1是在曲线图上在尖峰的左侧，与亮度值成为尖峰亮度值一半的点对应的光轴方向上的位置，z2是在曲线图上在尖峰的右侧，与亮度值成为尖峰亮度值一半的点对应的光轴方向上的位置。此外，z2＞z1。

[0041]而且，可以将波长带通滤光器12换成使不同于上述波长范围的光束通过的其它滤光器，由此能够用各波长带通滤光器进行同样的评价，通过比较所述评价结果，能够同时对点光的轴上色差量进行评价。而且，本方法还同时能够对各点间的轴上色差量进行比较。但是，在进行该评价时，由于最大亮度值由点密度决定，所以有必要使显微镜18的倍率保持一定。还有，因为各个衍射点光的成像位置大多相距很远，所以有必要事前使显微镜18和CCD19在z方向上的移动距离能够与全部衍射光的成像位置相对应。

[0042]有必要使CCD19的像素间距比CCD19上的点半径w小很多。例如，该像素间距可以在点半径w的1/10以下，更优选在1/50以下。由此，在点光的像内存在100个以上的像素，所以在评价光轴方向上的位置z与最大亮度值I_max之间的关系时，能够防止各个衍射光之间相互干扰。

[0043]如上所述，根据本实施方式的测定方法和评价方法，当使光入射到摄像镜头即衍射光学元件中时，很容易地就能够测定出各级的聚光点在光轴方向上的成像位置、最大亮度、光量、各级的衍射效率、各级的聚光点在与光轴垂直的面内的亮度分布以及聚光的尖峰的尖锐度等，还能够对数据进行保存和分析。因此，通过对例如从衍射光学元件的设计数据算出的能够预想到的各级的聚光光量及亮度分布等对应所述实测数据的预想光学特性值和所述实测数据进行比较，能够判断出镜头各部分的设计值与实际成品值之间的差异，因而很容易地就能够对镜头进行修正。

[0044](实施方式二)

在图5中表示的是实施方式二所涉及的用来测定衍射光学元件16的衍射光的测定装置。该装置在所述图1的构成要素的基础上进一步包括了角度可变机构51，并且在进行测定时还包括角度变更步骤。由此，能够改变向衍射光学元件16入射的入射光的角度，还能够评价衍射效率的倾斜入射特性(因视角(angle of view)而产生的光学特性)。

[0045]在本实施方式中，在用来放置衍射光学元件16和光圈15的支架50上安装了角度可变机构51，利用彼此正交的三个测微计等设定衍射光学元件16的光轴与入射光的光轴52所成的角度。一边确认旋转角度测量器等，一边用角度可变机构51使衍射光学元件16倾斜为任意的角度，从而能够对以任意视角倾斜入射时的衍射效率进行评价。此时，衍射光学元件16的中心位置(在该元件16的光轴上)位于入射光的光轴52上，并且所述装置的除衍射光学元件16之外的构成要素平行地排列在同一直线上，且各级的衍射点光也大致会聚在同一直线上。因此，在评价各级的点光时，能够在一个轴上对显微镜18和CCD19进行控制。

[0046]角度可变机构51还可以使衍射光学元件16以外的构成要素产生倾斜。此时，可以使衍射光学元件16以外的构成要素构成为一体后再产生倾斜。也可以仅使光源11、波长带通滤光器12、针眼狭缝13等入射光侧的构成要素产生倾斜，而在显微镜18及CCD19上设置能够在x、y、z方向上移动的测微计等来追踪点光17’。

-实施例-

[0047]下面，用实施例更加具体地对本发明进行说明。此外，本发明并没有被下述实施例所限定。

[0048](实施例一)

测定装置的结构如图1所示。使用白光卤素光源(HAYASHIWATCH-WORKS，CO.，LTD.制LA150FBU)作光源。用适合评价摄像用元件的R、G、B三种滤光器作波长带通滤光器。各滤光器在入射角为0度时的波长特性如下所示。

[0049]R滤光器：波长λ＝400～565nm，透过率T≤1％

波长λ＝610±10nm，透过率T＝50％

波长λ＝640～700nm，透过率T≥85％

(日本西格玛光机株式会社(SIGMA KOKI CO.，LTD.)制DIF-50S-RED)

G滤光器：波长λ＝400～460nm，透过率T≤1％

波长λ＝505±10nm，透过率T＝50％

波长λ＝575±10nm，透过率T＝50％

波长λ＝630～700nm，透过率T≤1％

(日本西格玛光机株式会社制DIF-50S-GRE)

B滤光器：波长λ＝400～470nm，透过率T≥85％

波长λ＝495±10nm，透过率T＝50％

波长λ＝530～700nm，透过率T≤1％

(日本西格玛光机株式会社制DIF-50F-BLE)

还有，为了除去光源中的红外光，设置了红外截止滤光片(日本西格玛光机株式会社制CLDF-50S)。还有，用Φ0.2mm的孔作针孔狭缝，利用准直透镜使平行光入射到衍射光学元件中。因为来自光源的光量值比激光弱，所以将显微镜的倍率设定在50倍，以便能对微弱的衍射光进行评价。作为CCD，使用了1/2型38万像素彩色CCD。将正好仅能容纳下目标点光的矩形区域设定为评价区域。

[0050]在此，当计算亮度时，为了消除外界光等对亮度产生的影响，在不使来自光源的光入射的状态下事先求出了CCD上的亮度值，并将该亮度值即产生的偏移量(offset)作为亮度的最小值(最小值＝0)。

[0051]在图8中所表示的是：使显微镜、CCD沿光轴方向(z方向)移动后，所测定的点光在z方向上的最大亮度分布的结果。图8表示的是用绿色(G)滤光器使波长范围大约为505～575nm的光通过衍射光学元件时的评价结果，z方向上的移动间距是10μm。z的原点是最终面的透镜中心，这是通过使显微镜的焦点对准透镜中心进行调整的结果。纵轴表示的是所测光的最大亮度值，用1级光的亮度值实现了正态分布。

[0052]出现了三个衍射点光的尖峰，从左侧来看分别是2级光的尖峰、1级光的尖峰及0级光的尖峰。从各自在尖峰位置上的点直径，能够求出各自衍射点光的光量，还能够求出各衍射光的衍射效率。

[0053]因为所述衍射光学元件的闪耀光栅(blaze)的高度比所期望的值(设计值)大，所以2级光的最大亮度值比按照设计制作的衍射光学元件的光学模拟值大，并且由于在制作工序中闪耀光栅尖端的形状出现复制(transcription)不良，因而0级光的最大亮度值变大。由此，通过所述评价，能够对透镜的性能进行评价，因而能带动高品质的透镜开发。当求在其它波长范围的衍射效率时，通过变换滤光器，能够用相同的方法进行评价。

[0054]图9是通过红色(R)、绿色(G)、蓝色(B)的各滤光器的最大亮度分布图。能够看出在同一级时成像位置因波长而不同，这便是轴上色差，利用本方法，能够容易地对各级间的色差量进行比较，因而能够实现快速便捷的色差评价。

[0055](实施例二)

而且，为了求出入射光倾斜入射时的衍射效率，在实施例一的装置的基础上还安装了角度可变机构，从而成为与图5相同的结构。如图6所示，为了评价以所期望的角度入射的光，可以进行调整，使衍射光学元件16的中心轴62、衍射光学元件16的主平面和入射光的光轴在一点上相交(即：使衍射光学元件16的主点与入射光束的光轴重合)。在将能够在彼此正交的x、y、z方向上进行微调的测微计安装在角度可变机构上之后，进行了所述调整。若进行所述调整，则即使用安装在角度可变机构上的旋转轴63使衍射光学元件16相对光轴产生倾斜时，也能够使点光大致在入射光的光轴上进行成像。用最小刻度为10μm的测微计作测微计x、y、z。

[0056]若事先降低显微镜18的倍率，则能够使所述调整变得更加容易。例如，将显微镜18的倍率设定为10倍。由此，很容易就能够评价任意视角的点光。但是，视角越大，CCD19上的点光位置就越容易明显地偏离开评价区域34的中心，所以有必要适当地对测微计进行微调。还有，在入射光倾斜入射时对各级的点光17进行评价的方法与入射光垂直入射时的评价方法相同，即：使显微镜18和CCD19在同一轴上进行移动后，再进行评价。此时也由于略微产生偏移，因而可以适当地在x、y方向上进行微调。还有，此时也可以在进行调整时降低显微镜18的倍率，以使该调整变得容易，而仅在评价点光时提高该显微镜18的倍率。

-产业实用性-

[0057]根据本发明，能够迅速且高精度地对用于摄像等的衍射光学元件进行评价，因而本发明作为用于摄像等的衍射光学元件的评价方法是有用的。