一种纳米级双层材料基于扫描电镜的表征方法

摘要

本发明一种纳米级双层材料基于扫描电镜的表征方法，属于扫描电子显微镜微观表征领域。本发明使用蒙特卡洛模拟对入射电子与待测纳米级双层材料的相互作用进行模拟计算，获取背散射电子激发深度；对待测实验样品进行扫描电子显微镜表征观察，获取相应电压条件下的背散射电子图像。本发明提供的方法可以直接应用于任何扫描电子显微镜对纳米级双层材料的微观表征，操作简单且可重复性强，可为纳米级双层材料微观表征提供技术支持。