太赫兹行波管慢波聚焦集成结构及其制造方法

摘要

本发明提供一种太赫兹行波管慢波聚焦集成结构及其制造方法，该结构包括载体，载体开设有用于太赫兹电磁波行进的慢波通道，慢波通道内部表面设有磁性薄膜层；慢波通道内部由行进的电磁波形成微电场，磁性薄膜层通过产生磁场或影响外部磁场，实现对内腔中行进的电子注进行聚焦，以促进电子注与微电场发生相互作用。本发明利用磁性薄膜层替代或增强传统行波管中的永磁体聚焦系统，厚度在微米到纳米量级，有利于行波管的集成化设计以及根据需求实现差异化磁场分布，实现行波管磁场系统体积的小型化，避免了传统永磁体聚焦系统的体积重量过大和磁场整形精度不高的问题，具有集成度高、微纳工艺兼容性好和应用性强的特点。