一种改善铜电镀过程中晶圆洗边环境的管路及洗边保护罩

摘要

本发明提供一种改善铜电镀过程中晶圆洗边环境的管路及洗边保护罩，适用于洗边腔体，所述洗边腔体包括用于放置晶圆的洗边平台和围设在所述洗边平台上方的洗边保护罩，所述管路为包括数个气体喷出孔和至少一个气体输入孔的管道；其中，所述管路位于所述洗边保护罩的内壁，且所述气体喷出孔朝向所述洗边保护罩内壁下方；当所述洗边保护罩升起后，所述气体喷出孔位置高于所述晶圆位置。本发明提供的改善铜电镀过程中晶圆洗边环境的管路及洗边保护罩能够防止洗边酸液反溅，降低洗边腔局部氧浓度，减少晶圆表面腐蚀缺陷，提高产品良率。