硅基集成的外腔窄线宽激光器

摘要

本公开提供了一种硅基集成的外腔窄线宽激光器，包括：硅衬底，上表面为外延生长区；增益芯片，通过异质外延或异质键合于外延生长区的一端；多模干涉波导结构，外延生长于外延生长区内，输入端与增益芯片的反馈光端面相对；反射结构，设于外延生长区的一端，与多模干涉波导结构的输出端耦合。该激光器不仅可以实现单模选择，由于多模干涉波导结构3的端面形成的外腔结构，还可以实现线宽压窄。