公开/公告号CN114008252A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-02-01
原文格式PDF
申请/专利权人 维沃塔公司;
申请/专利号CN202080033325.3
申请日2020-04-30
分类号D01D5/00(20060101);H01M50/44(20210101);H01M50/403(20210101);D04H1/728(20120101);
代理机构11204 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司;
代理人王达佐;王艳春
地址 荷兰瓦尔勒
入库时间 2023-06-19 14:05:00
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-02-01
公开
国际专利申请公布
机译: 在处理腔室中的层沉积过程中支持基质载体和掩膜载体的保持装置,在基质上沉积层的装置以及用于为基质载体和基质载体提供支持的基质载体的方法
机译: 在处理腔室中的层沉积过程中支持基质载体和掩膜载体的保持装置,在基质上沉积层的装置以及用于为基质载体和基质载体提供支持的基质载体的方法
机译: 在处理腔室中的层沉积过程中支持基质载体和掩膜载体的保持装置,在基质上沉积层的装置以及用于为基质载体和基质载体提供支持的基质载体的方法