用于表征粒子的传感器布置

摘要

本发明涉及一种用于表征粒子(P)，尤其用于确定粒子位置(PX、PY)、粒子速度(vX、vY)、粒子加速度(aX、aY)和/或粒子大小(D)的传感器布置(1)，其包括：发射器(2)，其具有：激光源(5)，其用于产生激光束(3)；模式转换装置(7)，其用于产生该激光束(3)的场分布，该场分布在各位置(X、Y)处具有该激光束(3)的局部强度(I(X,Y))及局部偏振方向(R(X,Y))的不同组合；聚焦光学器件(8)，其用于将该激光束(3)的该场分布聚焦至该粒子(P)在焦平面(9)中行进通过的至少一个测量区域(10)上，接收器(4)，其具有：分析器光学器件(14)，其用于确定该至少一个测量区域(10)中的该激光束(3)的该场分布的偏振相关的强度信号(I1、I2、I3、I4)，且具有分析处理装置(20)，该分析处理装置(20)用于表征粒子(P)，尤其用于在该偏振相关的强度信号(I1、I2、I3、I4)的帮助下确定该粒子位置(PX、PY)、该粒子速度(vX、vY)、该粒子加速度(aX、aY)和/或该粒子大小(D)。本发明亦涉及一种尤其用于EUV辐射产生设备的具有此传感器布置(1)的光学布置。