准原位X射线光电子能谱测试装置及其测试方法

摘要

本发明涉及一种准原位X射线光电子能谱测试装置及其测试方法，包括混气系统、截止阀、反应池、插板阀、快速进样腔体、分子束外延薄膜生长腔体、快速退火腔体、样品过渡转移腔体、缓冲腔体、第二快速进样腔体、X射线光电子能谱分析腔体；混气系统通过截止阀接通反应池，各个腔体都搭配有独立的真空泵组系统，并相互之间均通过插板阀相互隔绝，整个装置中的所有腔体都通过密封通道真空互联，被测样品在装置中完成测试前工艺处理和检测。实现样品在反应或者经过气体高温处理后，在不暴露空气的情况下转移至X射线光电子能谱分析腔体中进行测试，得到更加接近所测试催化材料实际终态的信息，本发明可用于表征模型催化剂、粉末催化剂的催化反应性能测试。