一种基于人工表面等离激元的片上四边形谐振器

摘要

本发明提供一种基于人工表面等离激元的片上四边形谐振器，该四边形耦合谐振器采用片上工艺设计生产，由一个内环谐振器和一个外环谐振器组成。外环谐振器金属光栅连接在四边形金属外环上并向内延伸一段距离，内环谐振金属光栅连接在四边形金属内环上并向外延伸一段距离，外环连接的金属光栅延伸长度由中间向两侧递减，谐振器由微带线和阻抗匹配枝节耦合激励。通过调节该谐振器结构参数及在芯片结构中的位置与数量，可以调节各个谐振模式的频点、强度和Q值。该谐振器结构简单，谐振强度大，品质因数高，场束缚性强，符合CMOS、砷化镓、磷化铟等多种芯片工艺设计规则，通过等比例缩放，可以实现微波段、毫米波段、太赫兹波段的高Q值谐振器。