一种具有片上温度补偿的双谐振器及生产工艺

摘要

一种具有片上温度补偿的双谐振器，锚点通过弹簧与振荡器连接，驱动电极和感应电极与振荡器连接，振荡器表面带有重掺杂氧化层；分为高温振荡器和低温振荡器两段，低温振荡器与MEMS芯片边缘呈15‑40度的夹角。一种具有片上温度补偿的双谐振器的生产工艺，刻蚀电极和低温振荡器天窗：通过深紫外刻蚀技术在SOI的器件层上刻蚀天窗，以形成振荡器与金属导线间的欧姆接触，沉积金属电极；将MEMS晶圆与电路晶圆键合：减薄抛光，形成终端互联。本发明的优点：通过频率温度补偿调整谐振器固有频率，提高压力传感器的输出精度，可以应用于MEMS谐振式压力传感器，或定时谐振器，过滤器，陀螺仪，谐振式化学传感器等领域。