一种半导体产品承载治具及半导体产品加工清洗装置

摘要

本发明公开了一种半导体产品承载治具及半导体产品加工清洗装置，属于半导体技术领域。一种半导体产品承载治具，包括下盒盖、上盒盖，所述下盒盖与上盒盖通过铰链转动相连，还包括：凹槽，开设在所述下盒盖上表面；多组放置槽，开设在所述凹槽上；中空管、转轴，分别贯穿转动连接在所述放置槽内；本发明通过下盒盖对待清洗的硅片进行统一存放，方便对多个硅片进行清洗，且通过中空管、转轴、毛刷辊的旋转，能够有效的对硅片进行清洗，提高清洗效果和效率，同时当清洗完成后，进行硅片下道工序的转移时，下盒盖与上盒盖还能对转移过程中的硅片提高保护，防止损坏，提高了实用性。