一种具有气垫缓冲腔的真空镀膜装置

摘要

本发明公开了一种具有气垫缓冲腔的真空镀膜装置，包括坩埚，所述坩埚的外侧设有用以将所述坩埚内金属液加热形成金属蒸汽的感应加热器，所述坩埚顶部通过金属蒸汽管道连有布流箱体，所述布流箱体内设有一水平向的稳压板，所述布流箱体内的顶部设有垂直向的抑流板，所述稳压板位于所述抑流板的下方，所述布流箱体的顶部连有镀膜喷嘴，所述金属蒸汽管道上设有调压阀；所述稳压板设置为多孔结构，所述稳压板的孔隙总面积S孔隙总面积与所述镀膜喷嘴的出口位置面积S出口之比大于等于0.1，即：S孔隙总面积/S出口≥0.1；所述抑流板具有两块，分别对称位于所述镀膜喷嘴的两侧。本发明使高温蒸汽和低温钢板接触时，在钢板表面形成均匀镀层。