再生酸性蚀刻液、酸性蚀刻液及酸性蚀刻液再生方法

摘要

本发明公开一种再生酸性蚀刻液、酸性蚀刻液及酸性蚀刻液再生方法，所述再生酸性蚀刻液包括盐酸、氯化铵以及氯化钾。本发明提供的技术方案中，再生酸性蚀刻液包括盐酸、氯化铵以及氯化钾，通过添加氯化钾，不仅能够使得再生酸性蚀刻液仍保持原有的蚀刻效率，而且能够提高酸性蚀刻液的氯离子浓度，使其符合蚀刻线对酸性蚀刻液的需求；此外，使用氯化钾还能在提高氯离子浓度的同时，避免蚀刻液出现氯化铜结晶，进而导致管道及蚀刻线喷嘴等堵塞。