一种防止基板表面存在摩擦灰尘的装置

摘要

本发明涉及一种防止基板表面存在摩擦灰尘的装置，包括：台板，台板上设置有凸起的放置平台，放置平台的顶端面用于放置基板，并且放置平台的顶端面的面积大于基板的面积，台板可沿竖直方向往复移动；支撑块，支撑块设置在台板上并且围绕放置平台分布，支撑块上设置有夹持空间，支撑块的高度低于放置平台的高度；掩膜框架，掩膜框架靠近台板的端面为槽体结构，掩膜框架的槽体的槽底面在台板上的投影覆盖放置平台，掩膜框架的槽体的侧壁固定于夹持空间内。