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一种制备高性能铋基无铅压电驱动器的方法

摘要

本发明公开了一种制备高性能铋基无铅压电驱动器的方法。该高性能铋基无铅压电驱动器是基于Bi0.5Na0.5TiO3(BNT)基为材料体系,与内电极共烧而成的多层器件。通过调整匹配BNT基材料体系、驱动器的陶瓷层厚以及内电极类型使得驱动器物相处在弛豫铁电共存区间。通过该方法获得的高性能铋基无铅压电驱动器与处在弛豫铁电共存区间的材料体系(块体陶瓷)性能接近,其中BNT‑ST体系压电驱动器在低于2.5kV/mm的电场下能达到目前商用驱动器的应变性能(≥0.15%),达到实际应用要求。

著录项

  • 公开/公告号CN113964266A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2022-01-21

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中国科学院光电技术研究所;

    申请/专利号CN202111194389.4

  • 发明设计人 童兴野;周佳骏;刘红;程云涛;

    申请日2021-10-13

  • 分类号H01L41/43(20130101);H01L41/27(20130101);H01L41/253(20130101);H01L41/187(20060101);

  • 代理机构11251 北京科迪生专利代理有限责任公司;

  • 代理人李晓莉

  • 地址 610209 四川省成都市双流350信箱

  • 入库时间 2023-06-19 13:57:16

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2023-09-19

    授权

    发明专利权授予

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