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在航空部件上沉积防焦保护涂层的方法

摘要

本公开内容的实施方式大体涉及在航空部件上的保护涂层和用于沉积所述保护涂层的方法。所述保护涂层可以是防焦涂层,以减少或抑制在燃料存在下加热所述航空部件时的焦炭形成。在一个或多个实施方式中,一种用于在航空部件上沉积保护涂层的方法包括:将所述航空部件暴露于清洁工艺,以在所述航空部件上产生清洁表面;和将所述航空部件顺序地暴露于前驱物和反应物,以通过原子层沉积(ALD)工艺在所述航空部件的所述清洁表面上形成保护涂层。所述航空部件可以是燃料喷嘴、燃烧器衬里、燃烧器护罩、热交换器、燃料管线、燃料阀或它们的任何组合中的一者或多者。

著录项

  • 公开/公告号CN113966411A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2022-01-21

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 应用材料公司;

    申请/专利号CN202080041634.5

  • 发明设计人 大卫·A·布里兹;

    申请日2020-03-23

  • 分类号C23C16/455(20060101);C23C16/02(20060101);C23C16/34(20060101);C23C16/40(20060101);C23C16/56(20060101);B64G1/40(20060101);

  • 代理机构11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司;

  • 代理人徐金国;赵静

  • 地址 美国加利福尼亚州

  • 入库时间 2023-06-19 13:57:16

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-01-21

    公开

    国际专利申请公布

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