一种涂覆桶外形的防溅水结构

摘要

本发明提供了一种涂覆桶外形的防溅水结构，涉及半导体生产技术领域，能够用于晶圆清洗过程，有效防止水溅；该防溅水结构包括：一体成型的桶体组件，包括：内空结构的桶体，载台罩设在其内；倾斜板，设置在桶体底部，用于与载台外表面密封连接；驱动连通口，设置在倾斜板上，用于安装喷水设备；桶下排水口，设置在倾斜板的最低处，用于下排水；用于实现上防溅和桶盖作用的上罩组件，包括：上罩结构，上下开口式结构，下端与桶体组件的上端可拆卸固接；上罩盖板，一端与上罩结构铰接，另一端与上罩结构可开合扣接；上防溅板，设置在上罩结构底部内壁；上排水口，设置在上防溅板上，用于上排水。本发明提供的技术方案适用于晶圆清洗或涂胶的过程中。