聚合物树脂及其合成方法、含聚合物树脂的光刻胶、光刻胶的制备方法和使用方法

摘要

本发明提供了一种聚合物树脂及其合成方法、含聚合物树脂的光刻胶、光刻胶的制备方法和使用方法。聚合物树脂由占总摩尔百分数为50～70％的第一树脂单体、10～30％的第二树脂单体、10～30％的第三树脂单体和1～10％的第四树脂单体经聚合形成，第一树脂单体、第二树脂单体、第三树脂单体和第四树脂单体的结构通式分别为：其中，Ra1、Rb1、Rc1和Rd1各自独立的选自C1～C4烷基或氢原子，Rb2选自氢原子、叔丁基醚结构或半缩醛结构，Rc2为C1～C4烷基，Rd2为脂环烃酸敏基团。本申请还提供了聚合物树脂的合成方法、含聚合物树脂的光刻胶、光刻胶的制备方法和使用方法。将本申请合成的聚合物树脂，用于化学放大光刻胶，可以有效的改善工艺窗口，提升聚焦深度。