探针卡装置及其栅栏状探针

摘要

本发明公开一种探针卡装置及其栅栏状探针，所述栅栏状探针包含一行程段、一扇出段及一测试段。所述行程段呈长形且定义有一长度方向，并且所述行程段包含有两个末端部。所述行程段形成有沿着垂直所述长度方向的一扇出方向排列的多个贯穿槽，以使所述行程段能受力变形而蓄有一回弹力。所述扇出段与所述测试段分别相连于所述行程段的两个所述末端部，并且所述扇出段具有远离所述行程段的一转接点，而所述测试段具有远离所述行程段的一顶抵点。其中，所述转接点在所述扇出方向上，是与所述顶抵点相隔有一扇出距离。据此，每个所述栅栏状探针通过构造设计，以使得所述转接点之间的距离能够被拉开，进而有效地改善所述探针卡装置的生产成本与效率。