基于改进检测狭缝倾斜角度的测SFR方法及装置

摘要

本发明涉及基于改进检测狭缝倾斜角度的测SFR方法，包括以下：获取狭缝法测量光学传递函数的系统处于离焦位置时的成像图像；提取所述成像图像的ROI区域；对所述ROI区域进行数据预处理得到处理后的ROI区域图像；寻找处理后的的ROI区域图像的每行的像素的狭缝中心位置得到每行的LSF；对每行的LSF进行去除盲元以及降低随机噪声处理得到多行的Mean(LSF)；对Mean(LSF)进行EMD分解，剔除分解得到的最后一项本征模函数项和残差余项得到Mean(LSF)xz，根据Mean(LSF)xz计算最终所需的SFR值。本发明在基于国际标准的同时，改进其倾斜投影中的超采样方法，减少盲元，并且最后通过EMD分解对LSF进行去噪处理，以获得更准确、更稳定的MTF数值。