一种用于超精密加工的工装夹具

摘要

本发明涉及超精密加工技术领域，尤其涉及一种用于超精密加工的工装夹具，包括车床真空吸盘和设有微米级通孔的支撑垫体，使支撑垫体与所需加工产品面面接触，增大产品受力面积，降低产品内应力，有效减少产品形变；利用真空吸盘通过多个微米级通孔进行吸附，提供充足的吸附力，同时保证产品不脱落。