法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-04-07
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N21/65 专利申请号:2021106950046 申请日:20210623
实质审查的生效
机译: 氧化物半导体薄膜品质的评价方法,氧化物半导体薄膜品质的管理方法以及使用上述方法进行质量管理的半导体制造装置
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