湿法清洗机台上的晶圆干燥方法及湿法清洗机台

摘要

本发明提供了一种湿法清洗机台上的晶圆干燥方法及湿法清洗机台，其将干燥槽在干燥剂液体补充至最高监控液位时所触发的停止补液信号，延时预设时间，以延长干燥槽的干燥剂液体补充时间，使得在该预设时间内干燥槽的干燥剂液体被补充至持续溢流一段时间，之后根据延时的停止补液信号停止补液，进而通过溢流来去除晶圆浸泡下来且漂浮在干燥剂液体表面上的杂质，由此在将所述晶圆从所述干燥槽中的干燥剂液体中升起的过程中，大大减小了经异丙醇等干燥剂液体干燥后在晶圆表面存在超出规格要求的杂质的几率，从而大大提高了产品良率，且方案简单，设备改造成本低，易于实施。