用于激光加工工件的加工设备和激光加工工件的方法

摘要

根据本申请，提供了一种用于在加工区(13)中激光加工工件(12)的加工设备(10)，该加工设备(10)具有：用于激光加工源的第一接口(14)，激光加工源用于产生加工激光束(15)；用于检测器装置的第二接口(16)，检测器装置用于检测由加工区(13)发出的辐射(17)；用于加工激光束(14)的出口开口(18)；以及第一激光束导引装置(20)和第二激光束导引装置(22)，其中，第一激光束导引装置(20，20a，20b)布置并设计成使得该第一激光束导引装置将加工激光束(14)导引至第二激光束导引装置(22)并且动态地移动加工激光束(14)，以及第二激光束导引装置(22)布置并设计成使得该第二激光束导引装置将动态移动的加工激光束(14)导引穿过出口开口(18)并且将由加工区(13)发出的穿过出口开口的辐射(17)至少部分地导引至第二接口(16)。还提供了用于激光加工工件(12)的方法。