公开/公告号CN113828058A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-12-24
原文格式PDF
申请/专利权人 智程半导体设备科技(昆山)有限公司;
申请/专利号CN202111061003.2
申请日2021-09-10
分类号B01D36/04(20060101);C22B3/00(20060101);C22B7/00(20060101);
代理机构32351 苏州友佳知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人储振
地址 215000 江苏省苏州市昆山市玉山镇玉杨路299号3号房
入库时间 2023-06-19 13:51:08
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-02-28
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):B01D36/04 专利申请号:2021110610032 申请公布日:20211224
发明专利申请公布后的驳回
机译: 回收方式以及用于回收包含半导体处理工艺特别是化学机械研磨工艺中的浆料的废液的装置
机译: AG剥离工艺中废液的回收方法
机译: 一种高效的玻璃回收工艺和废液回收利用现场回收方法及装置,以及用于处理污泥的方法