声表面波谐振装置及形成方法、滤波装置及射频前端装置

摘要

一种SAW谐振装置包括：压电基底；电极层，位于压电基底上，电极层包括IDT，IDT包括第一总线、多个第一电极条、第二总线及多个第二电极条，多个第一电极条的第一端连接第一总线，第一端相对的多个第一电极条的第二端靠近第二总线，第二端与第二总线之间为第一间隙，多个第二电极条的第三端连接第二总线，第三端相对的多个第二电极条的第四端靠近第一总线，第四端与第一总线之间为第二间隙；第一负载层，位于第四端上方，靠近第一端及第二间隙；第一介质层，位于电极层上方，覆盖第一负载层；第二负载层，位于第一介质层上，第二负载层位于第二端上方，靠近第三端及第一间隙；可以抑制横向寄生谐振，降低由负载层引入滤波装置通带内的分裂寄生谐振。