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高阳; 李以贵; 张俊峰;
上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验窒,上海,200240;
驱动; 剥离工艺; 离子铣工艺;
机译:基于薄膜压电叉指换能器的高频声表面波装置
机译:使用单个叉指换能器的基于声表面波的微混合增强
机译:使用铌酸锂上的石墨烯叉指换能器产生和检测声表面波
机译:用步进式手指叉指换能器在谐波频率下操作声表面波装置的实验研究
机译:时间依赖性PDE约束的优化问题的优化和模型减少:在声表面波驱动的微流体生物芯片中的应用。
机译:高稳定度的钯镍合金薄膜涂层声表面波装置的研制
机译:用间隔叉指换能器探测声表面波。
机译:具有分开的叉指换能器的声表面波装置
机译:具有钨铝层状叉指换能器的声表面波装置
机译:带有用于声表面波的叉指换能器的装置
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