确定半导体生产过程的影响因子权重的方法、系统和计算设备

摘要

本申请公开了确定半导体生产过程的影响因子权重的方法、系统和计算设备，所述方法包括：从数据库中获取所述半导体生产过程的生产周期数据和所述半导体生产过程的影响因子数据；将所述影响因子数据作为反向传播型神经网络的输入并将所述生产周期数据作为所述反向传播型神经网络的目标输出，对所述反向传播型神经网络进行训练，直至所述反向传播型神经网络的实际输出与所述目标输出之间的误差小于目标阈值；以及基于训练后的反向传播型神经网络的参数确定所述影响因子数据相对于所述生产周期数据的权重。本申请所公开的方法和系统能够实现对半导体生产过程中的影响因子权重的定量测量。