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测定异常检测装置及测定异常检测方法

摘要

本发明涉及一种测定异常检测装置,其由谐振特性值获得多个样本。多个样本作为具有时间序列的样本组来处理,且各样本具有2个以上彼此不同的量纲。测定异常检测装置具备异常检测部(24),所述异常检测部(24)使用由样本具有的全部量纲而表示的检测指标空间,通过样本组和检测指标空间的逻辑运算,来对测定部取得的样本组中是否包含检测指标空间外的样本进行判断。

著录项

  • 公开/公告号CN113811634A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-12-17

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 株式会社爱发科;

    申请/专利号CN201980096121.1

  • 发明设计人 伊藤敦;市桥素子;我妻美千留;

    申请日2019-12-17

  • 分类号C23C14/54(20060101);G01B7/06(20060101);G01N5/02(20060101);

  • 代理机构31239 上海和跃知识产权代理事务所(普通合伙);

  • 代理人洪磊

  • 地址 日本国神奈川县茅崎市萩园2500番地

  • 入库时间 2023-06-19 13:43:30

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2023-04-04

    授权

    发明专利权授予

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