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公开/公告号CN113811988A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-12-17
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN202080032724.8
发明设计人 任河;姜浩;梅裕尔·奈克;
申请日2020-05-01
分类号H01L21/768(20060101);H01L23/538(20060101);
代理机构11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人徐金国;赵静
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2023-06-19 13:43:30
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