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非金属表面上的选择性沉积

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摘要

揭示了用于在非金属表面上进行选择性沉积的方法。本揭示内容的一些实施方式利用不饱和烃在金属表面上形成阻止层。进行沉积以选择性地沉积于未受阻止的非金属表面上。本揭示内容的一些实施方式涉及形成具减小的电阻的金属过孔的方法。

公开/公告号CN113795609A

专利类型发明专利
公开/公告日2021-12-14

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申请/专利权人应用材料公司;
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申请/专利号CN202080033013.2
发明设计人柳尚澔;陈璐;赛沙德利·甘古利;
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申请日2020-05-05
分类号C23C16/04(20060101);C23C16/455(20060101);C23C16/34(20060101);H01L21/768(20060101);
代理机构11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人徐金国;赵静
地址美国加利福尼亚州
入库时间 2023-06-19 13:41:59

1. 非金属表面上的选择性沉积 [P] . 中国专利： CN113795609A . 2021-12-14
2. 将非金属沉积物从含铝基板移除的非破坏性及选择性沉积移除方法 [P] . 中国专利： CN102341892A . 2012-02-01
3. Selective deposition on non-metallic surfaces [P] . KR20210148444A . 2021-12-07

机译：在非金属表面上的选择性沉积
4. Selective Deposition On Non-Metallic Surfaces [P] . 美国专利： US2020350204A1 . 2020-11-05

机译：非金属表面上的选择性沉积
5. NON DESTRUCTIVE SELECTIVE DEPOSITION REMOVAL OF NON-METALLIC DEPOSITS FROM ALUMINUM CONTAINING SUBSTRATES [P] . 欧洲知识产权局专利： EP2404314A4 . 2016-08-10

机译：含铝基质中非金属沉积物的非破坏性选择性沉积去除