超高真空环境远紫外-极紫外光斩波周期调制分光装置

摘要

本发明涉及一种超高真空环境远紫外‑极紫外光斩波周期调制分光装置，包括安装底座以及设置于所述安装底座上的高反薄膜反射镜、底板、伺服电机和光电传感器，所述高反薄膜反射镜包括基板和镀制于基板表面的Au/B4C双层膜，所述高反薄膜反射镜安装于所述底板上，所述底板与伺服电机的输出轴固定连接，在伺服电机的驱动下带动高反薄膜反射镜旋转，高反薄膜反射镜经过所述光电传感器时输出斩波周期调制TTL信号。与现有技术相比，本发明首次使用Au/B4C双层膜，提高了20°掠入射工作角下的远紫外‑极紫外光的反射率，具有超高真空环境下对远紫外‑极紫外入射光和反射光的周期调制功能，并可结合锁相放大器实现低信噪比条件下对极弱光信号的探测。