用于转移半导体器件的桥拾取头

摘要

拾取工具(PUT)包括桥拾取头。桥拾取头包括：第一桥支腿部分、第二桥支腿部分以及在第一支腿部分和第二支腿部分之间的桥中心部分，第一桥支腿部分和第二桥支腿部分均包括顶面和侧面，第一桥支腿部分和第二桥支腿部分的顶面在桥中心部分上方延伸；在桥中心部分上的桥基部分，桥基部分包括在桥中心部分上的底侧、小于底侧的顶侧以及限定在顶侧和底侧之间的一个或更多个倾斜表面；以及尖端，该尖端被配置为在桥基部分的顶侧上与半导体器件附接。