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使用薄施体箔的LIFT印刷

摘要

印刷设备包含施体供应组合件,其定位具有相对的第一及第二表面以及形成在所述第二表面上的施体膜的透明施体衬底,使得所述施体膜接近受体衬底上的目标区域。光学组合件引导激光辐射的一或多个光束穿过所述施体衬底的所述第一表面并照射所述施体膜,以便诱导材料从所述施体膜喷射到所述受体衬底上。提供用于减轻或补偿激光辐射跨所述施体衬底的区域的反射的变化的构件,以便使跨所述施体衬底的所述区域在所述施体膜中吸收的所述激光辐射的通量等化。

著录项

  • 公开/公告号CN113767451A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-12-07

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 奥宝科技有限公司;

    申请/专利号CN202080032698.9

  • 申请日2020-05-04

  • 分类号H01L21/02(20060101);H01L51/00(20060101);H05K3/02(20060101);

  • 代理机构11287 北京律盟知识产权代理有限责任公司;

  • 代理人刘媛媛

  • 地址 以色列雅夫内城

  • 入库时间 2023-06-19 13:37:05

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-03-29

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/02 专利申请号:2020800326989 申请日:20200504

    实质审查的生效

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