公开/公告号CN113898563A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-01-07
原文格式PDF
申请/专利权人 中国电子科技集团公司第二十六研究所;
申请/专利号CN202111177284.8
发明设计人 余怀强;
申请日2021-10-09
分类号F04B43/04(20060101);F04B49/00(20060101);F04B49/06(20060101);F04B53/08(20060101);
代理机构31219 上海光华专利事务所(普通合伙);
代理人李铁
地址 400060 重庆市南岸区南坪花园路14号
入库时间 2023-06-19 13:35:32
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-04-15
授权
发明专利权授予
机译: 用于数字辐射成像和信号处理的微系统阵列以及制造微系统阵列的方法
机译: 用于数字辐射成像和信号处理的微系统阵列以及微系统阵列的制作方法
机译: 适用于微系统的双效热工微执行器和微系统