一种单级次衍射劳厄透镜及制造方法

摘要

本申请的实施例公开了一种单级次衍射劳厄透镜及制造方法，所述单级次衍射劳厄透镜包括基体，基体包括第一表面；以及形成在第一表面上的衍射结构；沿垂直于第一表面的方向，衍射结构包括周期厚度以预设规则变化的多个膜层；多个膜层由第一靶材和第二靶材通过共溅射形成，第一靶材和第二靶材的溅射功率沿膜层的外延方向以相位差为π的余弦函数形式周期性变化，余弦函数的变化周期为膜层的周期厚度；其中，第一靶材的原子序数大于第二靶材的原子序数。本申请的透镜的结构能够有效抑制高级次衍射光，在光路中无需要使用OSA，有效增加了工作距离。