一种基于MEMS的阳极氧化铝纳米微阵列芯片及其制备工艺和应用

摘要

本发明提供一种基于MEMS的阳极氧化铝纳米微阵列芯片及其制备工艺和应用。本发明是通过超声化学去油脂‑电化学抛光‑初次阳极氧化‑化学蚀刻‑光刻‑再次阳极氧化‑末道处理等过程，最终获得阳极氧化铝纳米微阵列芯片。阳极氧化铝纳米微阵列芯片可负载核酸和/或蛋白质和/或小分子化合物后作为高通量生物芯片。负载核酸和/或蛋白质和/或小分子化合物前，将阳极氧化铝芯片置于过氧化氢溶液中加热至沸腾处理1h以提高阳极氧化铝表面羟基含量，然后进行氨基化修饰，使表面修饰带有活性的氨基基团。本发明的阳极氧化铝纳米微阵列芯片用作生物芯片时，有序的纳米孔增加了生物芯片的比表面积，可以负载更高密度的核酸探针，提高信号强度。