一种适用于大能散电子束的高精准电子谱仪

摘要

本发明涉及一种适用于大能散电子束的高精准电子谱仪，包括电子传输管道、二极铁、钛膜、锡箔纸、第一荧光板、第二荧光板、第一暗室和第二暗室；所述二极铁的磁场可调，所述电子传输管道从所述二极铁中间穿过，在穿出所述二极铁后所述电子传输管道呈30度角折弯扩展，所述钛膜真空密封所述电子传输管道管道的末端；在所述电子传输管道后方依次设置有紧贴的所述第一暗室和所述第二暗室，所述第一暗室的前表面依次贴有所述锡箔纸和所述第一荧光板，所述第二荧光板分隔所述第一暗室和所述第二暗室，所述第一荧光板与所述第二荧光板平行设置，所述第一暗室内均配置有第一CCD相机，所述第二暗室内配置有第二CCD相机。