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多层膜、光学器件、光子集成电路器件和光收发器

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多层膜、光学器件、光子集成电路器件和光收发器。一种多层膜包括单晶硅层、含有Zr的第一层、含有ZrO2的第二层以及含有具有电光效应的钙钛矿氧化物的第三层。所述第一层、所述第二层和所述第三层按该顺序设置在所述单晶硅层的上方，并且所述多层膜对于要使用的波长是透明的。

著录项

公开/公告号CN113885229A

专利类型发明专利
公开/公告日2022-01-04

原文格式PDF
申请/专利权人富士通光器件株式会社;
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申请/专利号CN202110643110.X
发明设计人三田村宣明;
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申请日2021-06-09
分类号G02F1/03(20060101);G02F1/035(20060101);G02B6/122(20060101);G02B6/42(20060101);
代理机构11127 北京三友知识产权代理有限公司;
代理人刘久亮;黄纶伟
地址日本神奈川县
入库时间 2023-06-19 13:32:21

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