一种温度补偿滤波器的制备方法及温度补偿滤波器

摘要

本发明涉及一种微电子技术领域，具体涉及一种温度补偿滤波器的制备方法，包括在基片上镀键合区金属层，以及对所述键合区金属层以外的区域套刻光刻胶的步骤；还包括在所述键合区金属层上镀加厚金属层；剥离所述套刻的光刻胶；在所述加厚金属层以及其他区域上溅射温补膜；对所述温补膜进行平坦化处理，使所述加厚金属层暴露于所述温补膜之外。