轴向对准组件和包含此类对准组件的带电粒子显微镜

摘要

本发明涉及一种轴向对准组件（100），其包含：第一主体和第二主体。所述第一主体具有基本上圆柱形外护套以及第一对准轴线。所述第二主体包含基本上圆柱形内护套，并且具有第二对准轴线。所述第二主体相对于所述第一主体定位成使得所述内护套面向所述外护套，并且在所述内护套与所述外护套之间形成基本上环形凹部。所述轴向对准组件进一步包含位于所述环形凹部内的多个弹性元件，其中每个弹性元件与所述第一主体的所述外护套和所述第二主体的所述内护套接触。每个弹性元件将力施加到所述外护套和所述内护套上，以对准所述第一对准轴线和所述第二对准轴线。