一种制备微流控芯片核心单元的卷对卷设备

摘要

本发明公开了一种制备微流控芯片核心单元的卷对卷设备，主要包括工作腔室、定型模块、涂胶系统和图案生成辊装置；涂胶系统位于放卷辊的下游，用于在柔性基膜表面涂覆形成均匀的湿膜层；图案生成辊装置布置在涂胶系统的下游，主要包括辊体和低真空泵；辊体包括内辊和外辊；外辊辊面为网状结构，上面布置有网孔阵列；内辊的辊壁上布置有吸收孔阵列，吸收孔阵列中的吸收孔与网孔阵列中的网孔之间通过吸收管道相连；内辊内部为空腔结构，内辊端部与低真空泵相连，低真空泵将内辊内部抽成负压。图案生成辊装置通过负压吸收过程对绕经辊体的柔性基膜上尚未成型的湿膜层进行部分去除；湿膜层经过固化定型后形成具有微流控通道图案的微流控单元层。