卷对卷蓝膜溅射设备的研制

摘要

蓝膜一太阳光谱选择性吸收涂层，本文针对生产蓝膜的卷对卷镀膜设备在沉积构成蓝膜膜系一吸收、减反(光学干涉)、精确控制、性能优良等方面的要求，介绍了卷对卷蓝膜溅射设备真空室、抽气系统、传输系统等结构的配置，探讨了其蓝膜产品性能。