用于卷对卷沉积的滚筒、卷对卷沉积设备以及膜卷

摘要

本文公开了一种用于卷对卷沉积的滚筒，其围绕纵轴旋转。滚筒的横向截面是圆形的并且具有如下的形状：相对的纵向边缘部分分别具有比纵向中央部分窄的宽度。通过使用根据本公开的实施例的用于卷对卷沉积的滚筒，可以在执行卷对卷沉积工艺时消除在柔性基板上发生的褶皱。因此，可以制造具有拥有优异的横向厚度均匀性的沉积层的膜卷。