氦质谱检漏仪校准系统及校准方法

摘要

本发明公开了氦质谱检漏仪校准系统，属于氦质谱检漏仪技术领域，包括采集模块、处理模块和校准模块，采集模块包含第一采集单元、第二采集单元和第三采集单元，第一采集单元用于采集氦质谱检漏仪的电气信息；第二采集单元用于采集氦质谱检漏仪的抽气信息；第三采集单元用于采集氦质谱检漏仪的质谱信息；处理模块用于对采集的各项数据进行特征提取和处理，得到特征处理集；校准模块用于根据特征处理集对氦质谱检漏仪进行分析和校准，得到校准结果；本发明还公开了氦质谱检漏仪校准系统的校准方法；本发明用于解决现有方案中氦质谱检漏仪校准的效果不佳的技术问题。