实时检测薄膜裂纹间距的方法和装置

摘要

提供了一种实时检测薄膜裂纹间距的方法和装置。所述方法包括：准备至少两个由第一材料构成的基底，基底上形成有由第二材料构成的薄膜；将至少一个基底选作标准试样，其余基底选作待测试样；对标准试样执行第一加载并采集第一声发射信号和第一裂纹间距；基于第一声发射信号和第一裂纹间距生成预估模型；对待测试样执行第二加载并采集第二声发射信号；基于预估模型对第二声发射信号进行实时分析以获得待测试样的薄膜的预估裂纹间距，其中，第二加载的类型与第一加载的类型相同，薄膜的断裂韧性小于基底的断裂韧性。