MEMS梳齿电容式加速度传感器品质因子的退化分析方法

摘要

本发明提供了一种MEMS梳齿电容式加速度传感器品质因子的退化分析方法，包括建立在热弹性阻尼影响下加速度传感器品质因子的退化模型；建立因腔体内部材料释气以及腔体的泄漏共同影响下腔体内部压强随时间的变化关系；建立腔体内稀薄气体阻尼与压强之间的关系模型；建立受稀薄气体阻尼影响下加速度传感器品质因子的退化模型；建立在热弹性阻尼以及稀薄气体阻尼共同影响下MEMS梳齿电容式加速度传感器品质因子退化模型，并基于该模型进行退化分析。本发明分析了电容式加速度传感器各种参数与品质因子之间的关系，为电容式加速度传感器的设计及维护提供了参考依据，也为电容式加速度传感器的退化及寿命分析提供了帮助。