一种硅基材料碳包覆评价装置、评价方法及应用

摘要

本发明公开了一种硅基材料碳包覆评价装置及评价方法及应用，评价装置包括产气系统，用于碳包覆硅基材料与产气介质反应产生气体，与气体测量系统密封连通；气体测量系统，用于测量气体的产生量，包括：第一连接部，一端密封连通产气系统、另一端密封连通第三连接部；第二连接部，一端密封连通第三连接部、另一端密封连通气密性装检系统；第一连接部、第二连接部、第三连接部内装填有与气体不相容的液体；气密性装检系统，用于密封第二连接部。可以用于硅基材料的碳包覆完整性判定。结构简单，成本低，检测过程可控性强，准确度高，操作方便；单次检测量大且范围广，测量周期短，有利提高检测样本科学性，适合大规模生产制造品质有效把控。